對于直讀光譜儀來說，高純度的氬氣是必須要具備的。但是有些廠家為了省錢，所以用了低純度的氬氣，這一定程度上會對其檢測結果有影響的。
直讀光譜儀對于氬氣純度一般要達到99.999%，這樣對儀器分析的穩定性較好，如果氬氣純度不夠的話，有部分高合金（如Cr、Ni、W等含量高）樣品是沒有辦法正常激發的。
很多人反應直讀光譜儀對于氬氣的的消耗非常大，正常情況下，一天50個樣品，一瓶氬氣（14MPa）zui少可以用5天以上，如果光譜儀對于氬氣消耗特別的大有可能是有漏氣或氬氣分壓表流量太大。供氬氣鋼瓶的減壓器壓力為0.60--0.70MPa,管路漏氣則消耗氬氣多。
直讀光譜儀供氬氣有如下幾個流量：zui低流量6-10升/小時；常流量40-60升/小時，直讀光譜儀后面板的激發電源開關開則此流量一直供氣，用于沖洗激發室的透光鏡片和維持激發室氬氣正壓力，防止分析間隔過程及更換樣品時激發室進入空氣；分析流量200--300升/小時，只是激發樣品時供氣；閥、快門供氣，如果管路不漏氣耗氣量極小。所以，激發電源開關24小時開，一瓶氣可用3天左右，如果長時間不分析樣品（如間隔2小時）可關閉直讀光譜儀的激發電源開關，但不要關直讀光譜儀的總電源。
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