在使用直讀光譜儀分析樣品超過一定次數的時候，我們就需要對廢氣桶進行處理。打開廢氣桶，取出里面的過濾芯，用吸塵器清理管道和廢氣桶里面的灰塵，如果過濾芯太臟了不能使用了，就需要更換一個新的過濾芯。
透鏡的清理也是非常重要的
聚光鏡是樣是樣品被激發而發出的光進入分光儀的唯一通道，必須保持鏡面清潔干凈。但長期使用聚光鏡會受到污染，其外表面附著一層茶褐色物質，時間越長，沉積越厚。激發產生的金屬粉末也會粘附在透鏡的外表面上，降低光的透過率，可使全部元素的絕對光強降低，特別是遠紫外元素C，P，S更是明顯。可使元素的工作曲線斜率降低，分析靈敏度也下降，分析誤差增大。所以必需定期清理制度，多少時間清理一次，要看分析工作任務的多少，一般10-30天清理一次最好。具體清理辦法如下：
首先準備好乙醚和乙醇(1：1)混合液，脫脂棉和透鏡紙，然后打開儀器前方的小門，旋轉緊固旋鈕松開壓緊板，然后向外用力抽出透鏡板，即可取下透鏡固定板，暴露出聚光鏡。暴露出聚光鏡的表面用脫脂棉，蘸上乙醚乙醇的混合液少許，從聚光鏡中心向外逐圈擦拭。如污染嚴重可用力多擦幾遍，直到擦去污物再用干棉花球擦去水印即可。
特別應該注意的，聚光鏡是石英材質的，不能用硬的物體(絕不能用金屬鑷夾棉花)，以免劃傷透鏡面。尤其有些分析氮元素的儀器，透鏡材料為MgF,質地較軟，而且極易潮解，必須使用溶劑丙酮擦拭。
清理好的透鏡，不要用手指碰上，以免留下指印，影響光的透過率。
其他光學元件光柵，反光鏡等處在真空室的保護下，受到污染的可能性很小，一般是不需要清理的。尤其是光柵元件，結構非常精密，價格非常貴重。一旦受到污染，必須邀請專業技術人。
所以我們在清理的時候一定要注意這些，避免導致不必要的麻煩，如果有不能處理的情況一定要問專業的技術人員。
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